東北大学グリーン未来創造機構 グリーンクロステック研究センターの水谷正義教授、株式会社ティ・ディ・シーの赤羽優子氏（東北大大学院生）らの研究グループは、研磨工程における環境負荷低減を目指し、ウルトラファインバブル（UFB、ナノバブル）を研磨助剤として利用する新手法の有効性を実証しました。半導体やMEMS製造では表面を原子レベルで平滑化するため、多量の化学薬品（研磨助剤）が用いられますが、廃液処理や洗浄コストが課題です。

本研究では、UFBが圧壊する際に生じる反応性種の作用で表面を微細に酸化・脆化させ、削り取りやすくする「表面改質」メカニズムを検証しました。3GeV高輝度放射光施設NanoTerasuの硬X線光電子分光（HAXPES）により、極薄の表面改質層を高精度に評価した結果、炭素鋼およびアルミニウム合金で研磨に適した改質層（脆性層）が顕著に形成されることを確認しました。UFBが化学薬品の代替となる研磨助剤として機能し得る可能性を、科学的に示した成果です。

本成果は2026年4月10日付で砥粒加工学会誌に掲載されました。今後は適用材料の拡大と装置・プロセス開発を進め、化学薬品に頼らないクリーンな超精密加工技術の実現を目指します。

詳細は以下のプレスリリース記事 (pdf)をご覧ください。

論文情報（別枠）

• タイトル：研磨助剤としてのウルトラファインバブルの可能性 -ナノテラス 硬X線電子分光法による表面改質層の評価-
• 著者：赤羽 優子、虻川匡司、水谷 正義* (*責任著者)
• 東北大学グリーン未来創造機構グリーンクロステック研究センター（東北大学大学院工学研究科/東北大学大学院医工学研究科　兼務）
• 掲載誌：砥粒加工学会誌
• DOI：10.11420/jsat.25-00003
• URL：https://doi.org/10.11420/jsat.25-00003